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杨飞 先生
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发布时间:2020-08-14 04:51:51
净化车间是为了满足半导体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。
根据洁净室车间空气循环特点可以将洁净室分为三种类型:循环空调机配合送风口系统、循环风机配合湿式密封系统和FFU循环系统。
不积累:不在洁净车间积累任何灰尘。
遵循这个原则,洁净车间设计时,应注意如下几个方面:
1、墙角设计成圆弧形,避免灰尘积累,如果是平直形,不但容易积累灰尘,而且清洁很难。
2、 洁净车间应尽量不暴露风管与管道。
3、 制定清洁管理制度,定期的清洁洁净车间,定期维护洁净空调系统,避免积尘。
要去尘:快速去除洁净车间内灰尘。
1、在靠近灰尘产尘的地方设置排气装置。
2、增加换气次数。
3、采用合适的气流形式和室内布局,避免灰尘站在产品上。
鉴于洁净室自身的特点,我们在设计中应充分考虑人员安全疏散的要求,综合分析疏散人、疏散路线、疏散距离等因素,通过科学计算,选出很佳疏散线路,合理布置安全出口和疏散通道,建立起一个安全的疏散结构体系,使之满足从生产地点到安全出口不经过曲折的净化路线。由于洁净车间工程技术难度高,工程造价大,因此,在实施洁净工程时,一直注重洁净车间的设计。此外,由于洁净室多处于密闭状态,自然采光条件差,必须在厂房内设置火灾事故照明和应急疏散照明,并应在安全出口、疏散口和疏散通道转角处设置明显的疏散指示标志以便人员认清方向,迅速撤离事故现场。
其次,应清洁电子工厂洁净室的人员清洁工作。空气淋浴间应安装在洁净室的入口。单人空气淋浴间应由较多人数的30人建立。因此所有的施工人员不仅素质高,而且技术能力高超,这就确保了产品可以在一个良好的环境空间中去生产、制作。空气淋浴间的进出不得同时进行。打开时,应选择联锁控制措施。如果是洁净室中设备和物料的出入口,则应***设置,还应设置货物淋浴间。如果物料或产品的转移需要在不同级别的洁净室中进行,则应建立转移窗口。
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